黎明院极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化

近日，由中国化工黎明化工研究设计院（以下简称黎明院）承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组的测试与评审，标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。

集成电路是信息社会的根基，其制造技术代表着当今世界微细制造的最高水平。随着我国信息化进程的加快，对集成电路产品的需求持续快速增长。

高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体，在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成，确保电路有效发挥作用。随着极大规模集成电路技术的提升，芯片制程向14纳米甚至7纳米迈进，对电子气体的纯度要求越来越高。

黎明院于2013年开始“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”的课题研究，借助国家科技重大专项平台，潜心攻关，在多项关键技术上取得突破。

其中高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、分析等技术难题得以攻克，制备出的产品纯度达99.999％，推广使用后取得了良好的市场效果。

据产业在线统计，2019年国内四氟化碳市场格局如下:

四氟化碳.png

据产业在线统计，2019年中国四氟化碳总产能超过3000吨，其中成都科美特特种气体公司产能占比高达38%，位居首位。黎明院2019年四氟化碳产能为200吨，产能占比达6%。

据产业在线统计，2019年国内六氟化硫市场格局如下:

六氟化硫.png

2019年中国六氟化硫总产能近30000吨，其中成都科美特特种气体公司产能占比高达62%，位居首位。黎明院2019年六氟化硫产能2800吨，占比为9%。

根据黎明院控股公司昊华科技2020年3月发布的投资计划，黎明院将增加1000吨三氟化氮产能，预计2021年投产，将增加2000吨六氟化硫产能，届时黎明院三氟化氮产能将达到1300吨/年，六氟化硫产能达到4800吨/年。

关键词：黎明院集成电路含氟气体编辑：LX

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