6月26日,湖北省宜都市举行全市2022年6月重大项目开工暨湖北中用电子新材料有限公司年产10000吨电子气体项目开工仪式。
项目分两期建设,其中一期项目投资5.6亿元,年生产3500吨电子气体,预计2023年8月建成投产;项目二期计划投资16亿元,占地面积100亩,预计2025年建设年产6500吨新型含氟电子气体生产装置,两期合计产能10000吨/年。
建成后,一期项目将实现年产2000吨六氟化钨、600吨电子级六氟化硫、200吨电子级氟化氢、100吨电子级三氟化硼、200吨电子级八氟环丁烷、200吨电子级六氟乙烷、200吨电子级混和气的产能。
湖北中用电子新材料有限公司生产的相关含氟电子气体及混配气是电子信息材料领域专用材料,主要用于半导体行业的清洗、蚀刻、掺杂、成膜等工艺。