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5月27日，呼和浩特市生态环境局受理了中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司高纯电子气体项目（一期）环境影响评价文件并予以公示。该项目具体情况如下：
项目名称：中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司高纯电子气体项目（一期）；
建设性质：新建；
建设单位：中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司；
建设地点：内蒙古呼和浩特市托克托工业园区；
项目投资：136300万元，其中环保投资6339.7万元；
建设内容及规模：建设年产高纯三氟化氮7500吨的生产装置，年产超纯氨10000吨和液氮75000吨的生产装置。同时配套建设循环水站、纯水软水制备站、空压站、冷冻站、污水处理站等公辅工程。
产品方案：
中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司是中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司的全资子公司，主要产品为三氟化氮NF3、氨气NH3、液氮、三氟甲磺酸等。
三氟化氮（NF3）属于大规模集成电路的关键性辅助气体之一，可以用作氟化氢激光器的氧化剂，半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。随着因特网、手机的迅速普及，使得芯片的使用率提高，无疑对生产芯片用的刻蚀剂、清洗剂提出了巨大需求，使得三氟化氮的使用量比重越来越大。
