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科美特:扩建六氟化硫、四氟化碳产能

2018/7/9 12:00:34   来源:产业在线ChinaIOL   作者:王 明

6月25日,彭州市政府网发布《成都科美特特种气体有限公司年产10000吨电子级六氟化硫和年产2000吨半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目环境影响评价第二次公示信息》。公示披露,基于六氟化硫和四氟化碳的良好性能和广阔市场前景, 成都科美特种气体有限公司为进一步在特种气体领域发展壮大,拟在现厂区内建设“年产10000吨电子级六氟化硫和年产2000吨半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目 ”。

成都科美特特种气体有限公司位于四川省彭州市的成都航空动力产业园南区的新增区域内,属民营股份制企业,是一家专从事六氟化硫 、四氟化碳等产品生产的企业。厂区占地约120亩,经过多年发展,现已具备年产六氟化硫7000吨、四氟化碳1200吨、三氟化氮 3500吨的生产能力,以及30吨/年氟氮混合气体生产能力。

六氟化硫是一种优良的惰性绝缘气体,主要用于电子设备、达波导、粒子加速、变压器、避雷器等气体绝缘,还用于制冷剂、示踪装置、医疗、半导体制造中的蚀刻及地下电缆。

四氟化碳是一种等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能池生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、控制火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。同时,四氟化碳具有很好的溶氧性,广泛用于超深度潜水实验代替普通压缩空气等。


关键词:科美特  
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