Loading...
产业在线是中国最专业权威的产业链研究平台
会员中心
上一条下一条
上一条下一条
当前位置:首页>>新闻资讯>>正文

Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统 | 美通社

2020/3/25 12:26:00   来源:美通社  

Picarro AMC Monitoring System

Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。 

新的Picarro SAM系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括:

?针对Picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题 

?Picarro SAM系统进行过精心优化——系统性能符合Picarro Semi系统规格

新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了SAM的显着性能优势,使其在很短的时间内达到万亿分之几(ppt)的检测灵敏度,并能快速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。这使得SAM成为在线实时AMC监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面,可进行各种图表和趋势分析。

SAM可以配置为从8个或16个端口采样,并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸,这三个关键AMC会影响半导体晶圆的产量。展望未来,我们将根据Picarro的半导体产品路线图为其它气体提供SAM系统。

SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析,以帮助客户更准确地快速识别AMC事件的位置,从而允许采取更快的纠正措施,以提高与AMC相关的晶圆产量。

(美通社,2020年3月25日加利福尼亚州圣克拉拉市)

阅读全文: Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统


关键词:
(编辑:)
版权说明:凡来源标注为“产业在线ChinaIOL”的信息、数据及图片内容、报告及目录均为本网原创,著作权受我国法律保护。如需转载,请注明“来源:产业在线”。约稿或长期合作,请联系本网。
相关新闻
高清图集
专题
2019冷链设备产业发展与技术论坛成功召开

10月18-19日,2019中国冷链设备产业发展与技术论坛在山东日照隆重召开。本...

2019中国暖通空调产业发展峰会圆满召开

9月24-25日,2019中国暖通空调产业发展峰会在南京紫金山庄盛大召开。作为第...

产业在线 产业在线 微信扫一扫