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据韩媒报道称，三星计划进口更多ASML极紫外（EUV）光刻设备，未来ASML将在五年内提供总共50套设备，而每台单价约为2000亿韩元，总价值可达10万亿韩元（当前约551亿元人民币）。目前EUV光刻设备最大的问题是产量有限。据官方介绍，它“比卫星部件还复杂”，每年只能生产很有限的数量。据说去年是40台，今年ASML估计是60台。而目前需要且能购买到EUV光刻设备的厂商有五家：三星电子、台积电、英特尔、SK 海力士和美光。其中，台积电约占供应量的 70%，剩下四家公司争夺剩下的30%。
三星将巨资投资半导体 大量采购ASML光刻机
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